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大陽日酸は、水素(H2)ガスを燃料にすることで燃料由来の温室効果ガスを排出しない、半導体分野向け排ガス処理装置の販売を2024年4月より開始しました。本装置は水素火炎を処理ガスに効果的に接触・混合させることができるバーナ部構造とすることで、従来の化石燃料を用いた燃焼処理と比較して、PFC※除害において30~50%のエネルギー削減が可能となりました。また、従来の化石燃料を用いた既存製品「Blisters Burner®」から、軽微な変更でH2燃料仕様に変更することができる構造としたことも特徴であり、将来的なH2燃料需要の増加を見込んだ設計となっております。 今後も世界的なカーボンニュートラルに対する取り組みなど、時代に合わせた最適な排ガス処理装置を開発・販売してまいります。 ※ FCは炭素とフッ素が結合した化合物のこと。
「Blisters Burner H2」の外観