イノベーション事業
TNSCイノベーション事業部は、Si‧化合物半導体の最先端産業向けに、世界最⾼⽔準の⾼度な技術ソリューションを提供します。
MOCVD：
TNSCは、携帯電話、先端照明、光通信システムなどのLED、レーザー、⾼性能エレクトロニクスに使⽤される化合物半導体を製造する
MOCVD装置を世界で初めて開発しました。
UHPグレードのH2O2とN2H4（RASIRCの製品）：
RASIRC製品は、低蒸気圧の液体化学物質を過酸化⽔素(H2O2)やヒドラジン(N2H4)のような、より安全で信頼性の⾼いガスに変換します。
これらの反応性の⾼い化学物質は、⾼度なマイクロプロセッサーやメモリーデバイスの複雑な3D構造⽤に、低温で薄い酸化膜や窒化膜を⽣
成します。
R&D
つくば開発センターのエレクトロニクス開発部は、エレクトロニクス分野の先端技術開発に取り組んでいます。私たちは、電⼦デバイス製
造プロセスにおける材料とその取り扱いの真のプロフェッショナルとしての地位を確⽴しています。半導体製造の技術⾰新への貢献、環境
負荷の低減、⽣産性の向上など、重要な課題に積極的に取り組んでいます。当社の代表的な強みは、半導体製造に不可⽋な材料の電気特性
や歩留まりに⼤きな影響を与える不純物を、多⾓的かつ微量に測定できる分析技術です。私たちは単なる開発者ではなく、半導体製造エコ
システムの重要な⼀員として、持続可能な未来への貢献を⽬指します。お客様のビジネスの成功が私たちの使命であり、お客様のニーズを
深く理解し、最適なソリューションを提供することをお約束します。
エレクトロニクス分野の研究開発成果など、日本酸素ホールディングスグループの研究開発成果や設備・製品の技術については、大陽日酸技報よりご覧ください。（大陽日酸は、日本酸素ホールディングスグループのR&D・エンジニアリング機能の中核を担っています）
大陽日酸技報