サステナビリティトピックス詳細

大陽日酸および大陽日酸 ATIは、国立大学法人東京農工大学と共同で、電力制御・変換の高効率化に必須な次世代パワーデバイス用半導体結晶として注目されている β 型酸化ガリウム（β-Ga2O3）結晶の高純度結晶の高速成長をこれまで困難とされてきた有機金属気相成長（MOVPE）法で達成しました。独自の結晶成長炉内の反応解析結果に基づき、不純物である炭素の混入が無い高純度な β-Ga2O3を高速で成長できることを実証しました。この成果により、今後、省エネ社会実現に向けた β-Ga2O3パワーデバイスの量産技術の実用化が期待されます。

減圧ホットウォールMOVPE 装置(FR2000-OX)