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大陽日酸は、純酸素燃焼を用いた粉体溶融・球状化システム「CERAMELTⓇ」と水素燃焼技術を組み合わせ、半導体材料製造プロセスにおけるカーボンニュートラル実現に貢献できる無機質粉体溶融・球状化技術を開発しました。球状粒子は半導体封止材料等の樹脂充填剤として用いられ、半導体製品の性能向上や小型化に大きく寄与してきました。近年の半導体の使用領域拡大に伴い、製造過程における環境負荷低減に対する要求が厳しくなっています。当社が開発した本技術は、燃料に水素ガスを用いることで燃焼排ガス中のCO2 をゼロにし、製造過程における環境負荷低減に大きく貢献すると共に、製品中のカーボン不純物を低減した高品質な球状粒子の製造に貢献できます。
溶融・球状化前後でのアルミナ粒子の外観